Digital T硬漢 Tk(DTT)

2020年德國未來獎:通快,蔡司和Fraunhofer的EUV開發人員入圍!

聯邦總統辦公室今天在慕尼黑德意志博物館榮譽殿堂宣布了2020年德國未來獎提名人。 最好的一環-聯邦總統技術與創新獎最後一輪的三個項目-是TRUMPF,蔡司和Fraunhofer IOF的專家團隊:他們的項目“ EUV光刻-數字時代的新光” ”,博士。 蔡司半導體製造技術(SMT)部門的Peter Kurz博士半導體製造的通快激光系統公司的MichaelKösters博士。 耶拿弗勞恩霍夫應用光學與精密機械研究所IOF的Sergiy Yulin獲提名。

位於世界上最強大的脈衝工業激光器前面的專家團隊,該激光器用於產生光以實現EUV光刻(左起): 蔡司SMT部門的Peter Kurz博士邁克爾·科斯特斯(MichaelKösters),通快(TRUMPF)半導體製造激光系統,博士。 Sergiy Yulin,弗勞恩霍夫應用光學與精密機械研究所IOF
Lesen SIE MEHR 這裡